집적회로공정 3강 - 집적회로공정 개요

집적회로 공정에 대한 전반적인 설명

집적회로공정 4강 - 반도체 공학기초

1. Dopants 2. Calculation of carrier concentration 3. Mobility and resistance

집적회로공정 5강 - 반도체 공학기초

1. Sheet resistance (Rs) 2. Local oxidation of silicon (LOCOS)

집적회로공정 6강 - Isolation과 contact issue

1. Isolation methods 2. Contacts 3. Process flow of MOSFETs

집적회로공정 7강 - Isolation methods

1. Local oxidation of silicon (LOCOS) 2. Shallow trench isolation (STI) 3. Thermal oxidation